《微細(xì)加工技術(shù)》雜志社地址：長沙市第96號信箱301分箱（長沙黑石鋪）。
雜志社郵編：410111。
《微細(xì)加工技術(shù)》雜志于1983年創(chuàng)刊，國際刊號：1003-8213，國內(nèi)刊號：43-1140/TN，現(xiàn)如今被知網(wǎng)收錄(中)、維普收錄(中)、萬方收錄(中)、EI 工程索引(美)、國家圖書館館藏、上海圖書館館藏等收錄，是一本電子類統(tǒng)計(jì)源期刊，刊期為雙月刊，影響因子為0.19。
雜志所獲的榮譽(yù)有：Caj-cd規(guī)范獲獎(jiǎng)期刊、北大圖書館收錄期刊等。
雜志主要發(fā)文方向有：綜述、電子束技術(shù)、離子束技術(shù)、光子束技術(shù)、薄膜技術(shù)、微機(jī)械加工技術(shù)、納米技術(shù)等。
雜志主要發(fā)文主題有哪些？
| 機(jī)構(gòu)名稱 | 發(fā)文量 | 主要研究主題 |
| 中國科學(xué)院 | 192 | 光刻；電子束曝光；曝光機(jī)；電子束... |
| 上海交通大學(xué) | 129 | 微機(jī)電系統(tǒng)；電系統(tǒng)；機(jī)電系統(tǒng)；ME... |
| 清華大學(xué) | 60 | 微細(xì)；光刻；微細(xì)加工；離子束；聚... |
| 中國科學(xué)技術(shù)大學(xué) | 47 | 刻蝕；離子束；離子束刻蝕；光刻；... |
| 電子工業(yè)部 | 46 | 離子注入；注入機(jī)；離子注入機(jī)；半... |
| 中國科學(xué)院微電子研究... | 38 | 光刻；掩模；X射線光刻；電子束曝... |
| 中國科學(xué)院長春光學(xué)精... | 34 | 光柵；MEMS；刻蝕；光刻；傳感 |
| 山東大學(xué) | 29 | 電子束；電子束曝光；曝光機(jī)；電子... |
| 山東工業(yè)大學(xué) | 28 | 電子束曝光；曝光機(jī)；電子束曝光機(jī)... |
| 華中理工大學(xué) | 26 | 刻蝕；濺射；半導(dǎo)體；等離子體；離... |
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