《微細(xì)加工技術(shù)》雜志是統(tǒng)計(jì)源期刊。
《微細(xì)加工技術(shù)》雜志基本信息
《微細(xì)加工技術(shù)》于1983年創(chuàng)辦，全刊信息多卻有條有理，堅(jiān)持打造交流思想和經(jīng)驗(yàn)共享的主流平臺(tái)，國(guó)內(nèi)刊號(hào)為：43-1140/TN，創(chuàng)刊多年來(lái)受到許多讀者的支持和喜愛(ài)。
雜志主要發(fā)文機(jī)構(gòu)有哪些？發(fā)文量分別是多少？
| 學(xué)者姓名 | 發(fā)文量 | 主要研究主題 |
| 蔡炳初 | 44 | 微機(jī)電系統(tǒng)；MEMS；微機(jī)械；形狀記憶合金；微驅(qū)... |
| 趙小林 | 37 | 微機(jī)電系統(tǒng)；MEMS；微機(jī)械；微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)；電... |
| 丁桂甫 | 27 | 微機(jī)電系統(tǒng)；MEMS；微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)；雙穩(wěn)態(tài)；微... |
| 楊春生 | 20 | 電極；MEMS；微機(jī)電系統(tǒng)；壓電；微針 |
| 張玉林 | 20 | 電子束；電子束光刻；微機(jī)電系統(tǒng)；抗蝕劑；聚合... |
| 顧文琪 | 19 | 電子束曝光機(jī)；聚焦離子束；液態(tài)金屬離子源；電... |
| 馮伯儒 | 19 | 光刻；相移掩模；光刻系統(tǒng)；干涉光刻；光刻技術(shù) |
| 姚漢民 | 18 | 光刻分辨力；投影光刻物鏡；原子束；光刻；光子... |
| 徐東 | 18 | 碳納米管；形狀記憶合金；微驅(qū)動(dòng)器；納米；圖形... |
| 陳寶欽 | 17 | 電子束光刻；電子束曝光；電子束直寫(xiě)；抗蝕劑；... |
| 機(jī)構(gòu)名稱(chēng) | 發(fā)文量 | 主要研究主題 |
| 中國(guó)科學(xué)院 | 192 | 光刻；電子束曝光；曝光機(jī)；電子束... |
| 上海交通大學(xué) | 129 | 微機(jī)電系統(tǒng)；電系統(tǒng)；機(jī)電系統(tǒng)；ME... |
| 清華大學(xué) | 60 | 微細(xì)；光刻；微細(xì)加工；離子束；聚... |
| 中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué) | 47 | 刻蝕；離子束；離子束刻蝕；光刻；... |
| 電子工業(yè)部 | 46 | 離子注入；注入機(jī)；離子注入機(jī)；半... |
| 中國(guó)科學(xué)院微電子研究... | 38 | 光刻；掩模；X射線光刻；電子束曝... |
| 中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精... | 34 | 光柵；MEMS；刻蝕；光刻；傳感 |
| 山東大學(xué) | 29 | 電子束；電子束曝光；曝光機(jī)；電子... |
| 山東工業(yè)大學(xué) | 28 | 電子束曝光；曝光機(jī)；電子束曝光機(jī)... |
| 華中理工大學(xué) | 26 | 刻蝕；濺射；半導(dǎo)體；等離子體；離... |
部級(jí)期刊
統(tǒng)計(jì)源期刊
北大期刊
統(tǒng)計(jì)源期刊
省級(jí)期刊
