《電子工業(yè)專用設(shè)備》于1971年創(chuàng)辦,全刊信息多卻有條有理,堅持打造交流思想和經(jīng)驗共享的主流平臺,國內(nèi)刊號為:62-1077/TN,創(chuàng)刊多年來受到許多讀者的支持和喜愛。
《電子工業(yè)專用設(shè)備》是目前國內(nèi)電子專用設(shè)備領(lǐng)域唯一獲正規(guī)出版發(fā)行的權(quán)威專業(yè)刊物,多年來為推動我國電子專用設(shè)備的發(fā)展發(fā)揮了極其重要的作用。
Ⅰ、編號應(yīng)頂格書寫。有標題時,在編號后空一字再寫標題,另起一行寫具體內(nèi)容。無標題時,編號后空一字寫具體內(nèi)容。
Ⅱ、第一作者必須注明出生年月、性別、籍貫、職稱、學(xué)歷、從事的研究方向或領(lǐng)域;通訊作者必須注明其職稱、學(xué)歷以及從事的研究方向或領(lǐng)域。
Ⅲ、文稿要求論述充分有力,研究方法嚴謹創(chuàng)新。
Ⅳ、參考文獻按出現(xiàn)的次序列在文末,并在文中對應(yīng)位置以右上角方括弧中的數(shù)字表示。詳細參考文獻格式,見往期雜志。
Ⅴ、摘要是以提供文獻內(nèi)容梗概為目的,不加評論和補充解釋,簡明、確切地記述文獻重要內(nèi)容的短文。
學(xué)者姓名 | 發(fā)文量 | 主要研究主題 |
童志義 | 43 | 光學(xué)光刻;集成電路;光刻;硅;CMP |
鮮飛 | 42 | 表面貼裝技術(shù);SMT;貼片機;波峰焊;SMT生產(chǎn) |
翁壽松 | 30 | 半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè);半導(dǎo)體;半導(dǎo)體設(shè)備;銅互連;應(yīng)變... |
柳濱 | 21 | CMP;化學(xué)機械拋光;化學(xué)機械平坦化;拋光液;... |
陳大鵬 | 21 | 半導(dǎo)體器件;刻蝕;MEMS;溝道;焦平面陣列 |
顏景平 | 19 | 機器人;冗余度機器人;料器;球磨機;回轉(zhuǎn)誤差 |
周國安 | 18 | CMP;化學(xué)機械平坦化;化學(xué)機械拋光;拋光液;... |
葉甜春 | 17 | X射線光刻;溝道;半導(dǎo)體器件;版圖;襯底 |
楊洪星 | 17 | 單晶片;鍺;拋光片;晶片;表面粗糙度 |
譚立杰 | 17 | 晶圓;直線電機;激光加工;伺服控制;ETHERCAT |
機構(gòu)名稱 | 發(fā)文量 | 主要研究主題 |
中國電子科技集團公司... | 646 | 半導(dǎo)體;光刻;晶圓;電機;拋光 |
中國電子科技集團公司... | 229 | 真空;電池;低溫共燒陶瓷;太陽能... |
中國電子科技集團公司... | 168 | 電池;太陽能電池;太陽能;均勻性... |
中國電子科技集團公司... | 118 | 單晶;硅單晶;硅片;晶片;區(qū)熔 |
電子工業(yè)部 | 115 | 半導(dǎo)體;光刻;曝光機;切片;切片... |
北京中電科電子裝備有... | 92 | 晶圓;劃片;劃片機;鍵合;封裝 |
中華人民共和國工業(yè)和... | 75 | 光刻;電路;電子專用設(shè)備;集成電... |
中國電子科技集團公司 | 68 | 電路;集成電路;化學(xué)機械拋光;機... |
中國電子科技集團第十... | 66 | 光刻;刻蝕;激光;光刻機;投影光... |
中國科學(xué)院 | 54 | 光刻;光刻機;電路;半導(dǎo)體;電子... |
涉及文獻 | 資助項目 |
39 | 國家自然科學(xué)基金 |
37 | 國家高技術(shù)研究發(fā)展計劃 |
29 | 國家科技重大專項 |
7 | 國家重點基礎(chǔ)研究發(fā)展計劃 |
6 | 海南省自然科學(xué)基金 |
3 | 湖南省自然科學(xué)基金 |
3 | 國家火炬計劃 |
2 | 國防基礎(chǔ)科研計劃 |
2 | 電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展基金 |
2 | 國際科技合作與交流專項項目 |
涉及文獻 | 資助課題 |
9 | 國家高技術(shù)研究發(fā)展計劃(2005AA404210) |
8 | 國家科技重大專項(2009ZX02011-005A) |
8 | 國家自然科學(xué)基金(60576053) |
5 | 國家高技術(shù)研究發(fā)展計劃(2009AA043103) |
3 | 國家科技重大專項(2012ZX04001-022) |
3 | 國家高技術(shù)研究發(fā)展計劃(20094A043103) |
3 | 國家高技術(shù)研究發(fā)展計劃(2002AA311243) |
3 | 國家自然科學(xué)基金(50390064) |
3 | 國家火炬計劃(2003EB041301) |
2 | 國家科技重大專項(2009ZX02010-17) |
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