《微納電子技術(shù)》雜志是統(tǒng)計(jì)源期刊。
《微納電子技術(shù)》雜志基本信息
《微納電子技術(shù)》于1964年創(chuàng)辦，全刊信息多卻有條有理，堅(jiān)持打造交流思想和經(jīng)驗(yàn)共享的主流平臺(tái)，國(guó)內(nèi)刊號(hào)為：13-1314/TN，創(chuàng)刊多年來受到許多讀者的支持和喜愛。
《微納電子技術(shù)》匯集了納米電子、機(jī)械、材料、制造、測(cè)量以及物理、化學(xué)和生物等不同學(xué)科新生長(zhǎng)出來的微小和微觀領(lǐng)域的科學(xué)技術(shù)群體，通過報(bào)道國(guó)內(nèi)外納米電子技術(shù)方面的研究論文和綜述動(dòng)態(tài)。
雜志主要發(fā)文機(jī)構(gòu)有哪些？發(fā)文量分別是多少？
| 學(xué)者姓名 | 發(fā)文量 | 主要研究主題 |
| 劉玉嶺 | 87 | 化學(xué)機(jī)械拋光；CMP；拋光液；去除速率；ULSI |
| 王辰偉 | 48 | CMP；阻擋層；拋光液；堿性拋光液；化學(xué)機(jī)械拋... |
| 楊擁軍 | 36 | MEMS；微電子機(jī)械系統(tǒng)；微機(jī)械；硅；傳感器 |
| 熊繼軍 | 34 | 無線無源；MEMS；壓力傳感器；傳感器；高溫壓力... |
| 郭維廉 | 33 | 共振隧穿二極管；RTD；負(fù)阻器件；共振隧穿器件... |
| 蔡理 | 32 | 單電子晶體管；量子元胞自動(dòng)機(jī)；QCA；積分器；... |
| 張文棟 | 31 | 矢量水聽器；MEMS；加速度計(jì)；電容式；微機(jī)械 |
| 趙正平 | 30 | GAN；高電子遷移率晶體管；MEMS；HEMT；MMIC |
| 黃慶安 | 26 | MEMS；風(fēng)速風(fēng)向傳感器；微電子機(jī)械系統(tǒng)；無源無... |
| 胡松 | 26 | 光刻機(jī)；工件臺(tái)；光刻；掩模；生物芯片 |
| 機(jī)構(gòu)名稱 | 發(fā)文量 | 主要研究主題 |
| 中國(guó)科學(xué)院 | 309 | 納米；光刻；晶體管；MEMS；傳感 |
| 中北大學(xué) | 239 | MEMS；微電子；微電子機(jī)械；微電子... |
| 中國(guó)電子科技集團(tuán)第十... | 225 | 微電子；微電子機(jī)械；微電子機(jī)械系... |
| 河北工業(yè)大學(xué) | 183 | CMP；化學(xué)機(jī)械拋光；機(jī)械拋光；拋... |
| 上海交通大學(xué) | 147 | 納米；微電子；微電子機(jī)械；微電子... |
| 太原理工大學(xué) | 113 | 納米；傳感；感器；傳感器；氣敏 |
| 中國(guó)科學(xué)院微電子研究... | 111 | 光刻；納米；電子束光刻；金屬；感... |
| 清華大學(xué) | 74 | 感器；傳感；傳感器；自旋；納米 |
| 專用集成電路與系統(tǒng)國(guó)... | 60 | 隧穿；遷移率；共振隧穿；RTD；MEM... |
| 中國(guó)科學(xué)院大學(xué) | 60 | 微電子；MEMS；微電子機(jī)械；微電子... |
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